产品分类

测试项目


一、材料分析检测业务


编号

测试服务项目

仪器

型号

1

XRD

X射线衍射分析仪

布鲁克D8/日本理学Smartlab

2

小角散射SAXS/WAXS

小角X射线散射结构分析仪

XEUSS

3

掠入射XRD(GIXRD)

X射线衍射分析仪

日本理学Smartlab

4

X射线残余应力(涂层应力)

X射线分析

Philips MRD/Stress 3000

5

XPS

X射线光电子能谱分析仪

Thermo Scientific ESCALAB 250Xi、Thermo Fisher Scientific K-Alpha

6

AES

X射线光电子能谱分析仪

Thermo Scientific ESCALAB 250Xi

7

变角XPS

X射线光电子能谱分析仪

Thermo Scientific ESCALAB 250Xi

8

XRF

X射线荧光光谱分析仪

帕纳科 Axios

9

FTIR

傅里叶变换红外光谱仪

Nicolet IS50、Perkin-Elmer, USA、Nicolet NEXUS 670

10

FTIR

傅里叶变换中近红外光谱仪

TENSOR 37

11

Raman

拉曼光谱仪

XPLORA plus、LabRAM HR Evolution、Renishaw inVia Plus

12

PL

荧光光谱仪

Fluorolog-3

13

BET全孔

全自动比表面积和孔隙度分析仪

Autosorb-1-MP

14

NH3-TPD,CO2-TPD,H2-TPR,O2-TPO

化学吸附脱附分析仪

15

AFM

原子力显微镜

Bruker E500

16

白光干涉仪

激光共聚焦白光干涉三维轮廓仪

布鲁克

17

TOF-SIMS

飞行时间二次离子质谱仪

Cameca 4F/TOF-SIMS5

18

GDMS

辉光放电离子质谱分析仪

ASTRUM

19

GC-MS

气相色谱质谱联用

ISO\TRACE1310\Pyroprobe5200

20

GC

气相色谱仪

安捷伦 7820A

21

NMR

核磁共振变温分析系统

AVANCE III HD、VTMR20-010V-T

22

DSC

差热扫描分析仪

TGA/DSC3/SF1100

23

TG-DSC

热重差热联用

TGA/DSC3/SF1100

24

TGA

热重分析仪

TGA/DSC3/SF1100

25

TMA/DMA

动态热机械分析

BOSEELF3220

26

总卤(F、Cl、Br、I)

IC离子色谱

27

线路板表面离子

IC离子色谱

28

LPC

颗粒计数器

29

ICP-OES/MS

电感耦合等离子体质谱仪

安捷伦7700

30

吸收/透射/反射

双光束紫外可见分光光度计

UV-4802

31

流变仪

流变仪

BROOKFIELDR/S plus

32

粘度测试

乌氏粘度自动测试系统

IVS300

33

浓度测试

卡尔费休水分滴定仪

(Metrohm)870

34

硫化

无转子硫化仪

Reho-lineMini-MDR lite

35

GPC

三检测器GPC(凝胶渗透色谱仪)

270max

36

高温维氏硬度

高温维氏硬度计

HTV- PHS30

37

高温洛氏硬度

高温洛氏硬度计

HRN/T1 50

38

未知物解析(金属、非金属、液体)

39

VSM

振动样品磁强计

Lake Shore VSM 7307

40

PPMS

综合物性测量系统

PPMS-9

41

SQUID

SQUID测量系统

MPMS-SQUID-XL

42

ESR/EPR

电子自旋顺磁共振波谱仪

JES-FA200

43

三坐标测量

高精度三坐标测量机

FUTURE


二、电镜技术服务


编号

测试服务项目

仪器

型号

1

SEM扫描电镜(能谱)

扫描电子显微镜

JSM -6700F、SIRIONXL 30 FEG、蔡司FE-SEM

2

阴极荧光CL

扫描电子显微镜

Merlin

3

EBSD

扫描电子显微镜

Merlin

4

截面分析、透射样品制备

FIB

FIB- FEI Scios DualBeam、FIB- Zeiss CrossBeam 540

5

截面抛光

CP 离子断面抛光机

GATAN PECSII

6

离子减薄

离子减薄

Gatan PIPS Ⅱ

7

透射电子显微镜观察

TEM透射电子显微镜

Jem-2100F、FEI Tecnai G2 F20、FEI Tecnai G2 F30

8

电子探针

EPMA电子探针波谱仪

EPMA-1720、EPMA-1600

9

球差电镜

球差矫正透射电子显微镜

JEM-ARM200F、FEI Themis Z

10

生物扫描透射(制样加拍摄)


三、微纳加工服务


编号

服务项目

仪器

型号

1

光刻板(2.5寸最小线宽2um)

微纳加工


2

光刻板(3寸最小线宽2um)

微纳加工


3

光刻板(4寸最小线宽2um)

微纳加工


4

光刻板(5寸最小线宽2um)

微纳加工


5

光刻

紫外光刻机

EVG 620

6

EBL

电子束曝光

9500

7

激光直写

激光直写

DWL66+

8

磁控溅射

磁控溅射镀膜系统

PVD75

9

电子束蒸发

电子束蒸发镀膜系统

PVD75

10

ALD

ALD薄膜沉积系统

迈瑞德

11

PECVD

PECVD

OXFORD P100

12

外延生长



13

离子注入

高能离子注入机


14

刻蚀

干法刻蚀

北方华创

15

深硅刻蚀

硅刻蚀机

北方华创

16

金属刻蚀

金属刻蚀机

北方华创

17

湿法腐蚀

湿法腐蚀机

MDSE-01AR 型

18

砂轮切割

砂轮划片机

Unitemp

19

应力仪

应力仪

MOS Ultra SCAN

20

台阶仪

台阶仪

Dektak XT

21

光谱椭偏仪

光谱椭偏仪

RC2

22

快速退火炉

快速退火炉

RTP-100

23

电镀金

电镀金



四、可靠性测试服务


编号

测试服务项目

1

高/低温存储

2

温度循环

3

高温反偏

4

高温栅偏

5

高温寿命

6

高温高湿反偏

7

热疲劳高加速老化

8

饱和老化高温高压反偏

9

回流焊

10

蒸汽老化

11

恒温恒湿

12

热冲击

13

高温蒸煮

14

随机振动

15

机械冲击


五、失效分析服务


编号

测试服务项目

仪器

型号

1

IC封装开盖

镭射激光开封机

Laser Decapsulator

2

红外热成像显微镜


EMMI、OBRICH

3

SAT

超声波扫描显微镜

PVATePLa

4

X射线透射

X射线透射

X-RAY/Y. Cougar SMT

5

管壳内部水汽检测仪

管壳内部水汽检测仪

EDA 407

6

IC线路修改

聚焦离子束


7

IV测试

半导体参数测试仪

4200

8

功率器件DataSheet测试服务




六、半导体外延检测服务


编号

设备列表

测试项目

国别厂家

型号

特色用途及参数

1

DXRD(摇摆曲线、双晶XRD

1. 摇摆曲线

英国

Bede D1

适用于半导体外延片材料的测试,SiGaAsInPGaNSapphire等的,theta-2theta扫描,联动扫描,摇摆曲线,phi扫描,RSMmapping

2. 2theta扫描

3. Phi扫描、RSMMapping

2

AFM

表面形貌

美国Veeco

D3100

表面粗糙度、表面形貌

3

SIMS

表面SIMS

德国IONTOF

IONTOF IV

半导体、芯片成分分析

4

XPS

研究表面元素成分、化合价态

美国Thermal公司

ESCALAB 250 Xi

除了HHe以外所有元素种类及成分、化合价态的分析

深度剖析

结合刻蚀,可以对材料纵深方向做分析

5

拉曼光谱仪

鉴定物质结构、与成分分析、缺陷研究、掺杂和均匀性研究

英国 雷尼绍

Renishaw inVia Plus

光源514633785nm激光器,空间分辨率高,横向优于1um,纵向优于 2um,具有mapping功能

6

紫外可见分光光度计

材料透射光谱

北京普析

TU-1901

用于测试材料吸收谱,波长范围200nm~800nm

材料吸收光谱

7

PL(光致发光谱)

室温PL

美国PI公司

SP-2500i

激光器波长,325nm405nm,可测量200~800 nm发光材料

偏压PL

日本KIMMON

30mW

偏振PL、偏压PL,(325nm405nm激光器等)

低温、变温PL

美国ARS

DE204SI

低温、变温PL

8

TRPL(时间分辨光致发光光谱)

室温TRPL

英国EI

FLS920

室温TRPL325nm405nm激光器)

偏压PLE

PLE谱图(氙灯等)

低温、变温TRPL

低温、变温TRPL ,可以测试量子产率

9

深紫外发光光谱测试设备

室温稳态

中国


1.PL谱激发波长:(1177nm;(2210nm-330nm可调;(3345nm-495nm可调;(4690nm-990nm可调。
2
CL谱电子束能量:0~30keV可调;
3
、波长扫描范围:170nm-800nm
4
、温度范围:8-350K
5
、时间分辨率(瞬态光谱):2ps

室温瞬态

低温稳态


低温瞬态




10

椭偏仪

各种介质膜厚度及折射率

美国J.A.Woollam

M-2000 DI

波长195~1680 nm;可放置6英寸,角度45~90连续可调节

11

SEM(扫描电镜)

1.形貌分析

日立

日立S4800

冷场电镜,分辨率高;表面形貌、截面形貌,

2.成分分析

12

TEM

透射形貌、成分分析

日本电子、FEI

JEOL 2010、F20

分辨率0.1 nm,电压200 kV

13

FIB

聚焦离子束芯片解剖、加工

美国FEI

Helios 650S

半导体芯片解剖、加工、观察

14

FIB+TEM整包

透射样品制样+观察

美国FEI-FIB+F20

Helios 650,FEI F20

包括FIB,透射切样,形貌、厚度、成分的观察

15

台阶仪

测试样品台阶高度

美国科磊公司

KLA-Tencor P-6

芯片加工过程中的监控、器件尺寸、台阶厚度

16

霍尔效应

测试样品掺杂浓度

安捷伦


外延片掺杂浓度检测,适用于平板、单层薄膜

17

四探针测试

测试薄膜电阻率、方块电阻等

国产

RTS-8

测量范围:电阻率:10-4105Ω电导率:10-5104 s/cm 方块电阻:10-3106Ω/

18

低温强磁场物性测试系统(EMMS

可进行交直流电阻、微分电阻、霍尔效应和伏安特性等测量


evercool-II

样品腔尺寸:净内径为26 mm;基系统磁场强度:纵向磁体:±9 T;场均匀性:±0.01%
磁场分辨率:0.02 mT00.2 mT 1;最大测量电阻:4MΩ温度范围:1.9-400K

19

GaN器件表征和可靠性,探针台和光电设备测试





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