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离子质谱仪
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发布日期:2019-10-30
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详细介绍

仪器型号:TOF.SIMS 5

厂家:德国ION-TOF GmbH

质量范围:大于10000原子量单位

分辨率:空间分辨率(横向小于100纳米,纵向小于1纳米)

技术参数:
1. 并行探测所有离子,包括有机和无机分子碎片。
2. 无限的质量探测范围(实际测量中大于10000原子量单位)。
3. 完全透过率下实现高的质量分辨率。
4. 极高的横向和纵向空间分辨率(横向小于100纳米,纵向小于1纳米)。
5. 探测灵敏度可达ppm或ppb量级。

仪器特点:

1. 样品尺寸可以达到100毫米,200毫米,和300毫米。

2. 五维样品操作台

3. 多种可选择离子源:镓, 铟, 金, 铋, 氧,铯,氩,氙,SF5, C60...

4. 对分析室样品可加热和冷却控制。

5. 进样室可加热/冷却精确控温。能测量易挥发样品甚至液体。

6. 低温样品传输。

7. 可实现铯和氙的混合溅射。

8. 可实现单点成分分析,表面成分成像,深度剖析,三维分析等多种模式。

9. 采用样品电荷补偿,可以测量绝缘样品。


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