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激光共聚焦白光干涉三维轮廓仪
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发布日期:2019-10-30
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咨询电话:13426445751
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详细介绍

规格型号ContourGT-Ku

生产公司德国BRUKER公司

[主要参数]

1.双LED光源(白光和绿光)中

2. 最大垂直测里范围:10mm

3. 垂直分辨率:<0.01nmRa

4. RMS重现性: 0.01nm

5.垂直扫描速度:可达47微米秒

6.横向分辨率: 0.38 ume

7.倾斜调制范围: +6° (Tp/Tilt)

8. 视场范围: 8.24mm至0.05mm

9. 台阶测试精度: 0.75%样品台

10.移动范围: 150mm(XY 轴)100rm(Z轴);

11.反射率范围: 0.05%至100%

12.视场范围:从0.1mmx 0.07mm至1 9mmx 1.5mm

13.像素点: 1280x960

14.最小采样间距: 0.08um

15.物镜: 2.5X,10X 50XJ

[应用范围]

1.可对样品的表面进行三维形貌成像,可测里样品表面的各种尺寸;

2.可以获得表面形貌、粗糙度、三维轮廓等精准数据。