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徐宏博士
13426445751
钟磊经理
15600909562
德国HEIDELBERG, DWL66+激光直写
主要规格及技术指标
直写、制版
样品尺寸：2英寸~7英寸；边长50px以上小片
工作波长：405nm
最小特征尺寸：0.6μm
配0.6μm、1μm、2μm模块
线宽均匀性： 60nm @3σ
套刻对准精度：0.1μm @0.6μm模块
直写速度：
6mm2/minute @0.6μm模块
150mm2/minute @1μm模块
600mm2/minute @2μm模块