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光谱椭偏仪
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发布日期:2019-10-30
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详细介绍

仪器功能:可测量多晶硅/单晶硅绒面表面单层(二层或多层)减反射膜、和玻璃/有机基底上的薄膜太阳能电池。

技术指标:光源:氙灯
光斑直径:1-3mm
入射角范围:20°到90°,5°/步
波长范围:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
波长精度:1nm
测量时间: < 8s (取决于测量模式和粗糙度)
样品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm电池片, 其它尺寸
测量精度:0.02nm
折射率:0.0002, 100nmSiO2 on Si
厚度测量范围:0.01nm ~ 50um
消光比:10-6


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