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CP离子断面抛光机
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发布日期:2019-10-30
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GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS Ⅱ)

GATAN第二代精密刻蚀镀膜仪(PECS Ⅱ)是一款桌面型宽束氩离子抛光、镀膜及膜厚测量设备。对于同一个样品,可在同一真空环境下完成抛光及镀膜。设备采用两个宽束氩离子源对样品表面进行抛光,去除损伤层,从而得到高质量样品。用于SEM、光镜或者扫描探针显微镜进行成像。


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