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离子减薄
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发布日期:2019-10-30
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详细介绍

第二代精密离子减薄仪 (PIPS II)

技术参数:

离子源

离子枪:两个具有低能聚焦特性的潘宁离子枪

减薄角度:+10° 到 -10°, 每个离子枪均可独立调节

离子束能量:100 V 到 8.0 kV

离子束流密度:10m A/cm2 峰值

离子束对中:利用荧光屏精确对中

离子束直径:可由气流控制器或放电电压来调节

样品台

样品大小:3 mm 或 2.3 mm

样品旋转:1 到 6 rpm 连续可调

束流调制:扇形范围可调的单束调制或双束调制

X, Y 平移:在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm

真空系统

干泵系统:两级隔膜泵支持 80 升/秒的涡轮分子泵

压力:5x10-6 托基本压力,8x10-5 托工作压力

真空规:冷阴极型,用于主样品室:固体型,用于前级机械泵



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