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紫外光刻机
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发布日期:2019-10-30
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详细介绍

MJB4紫外光刻机

技术参数:

汞灯光源:350W,350nm~450nm;

掩模板尺寸:5英寸x5英寸;

晶片尺寸:最大4英寸,向下兼容;

接触方式:真空、低真空接触, 硬接触,软接触和接近式;

对准方式:全手动正面对准,红外光及CCD反面对准;

最小线宽:0.8μm;

对准精度: ±0.5μm。


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